Contact Now
Please Leave Us A Message
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Mẫu số: Sulphur Hexafluoride CAS: 2551-62-4
Hình thức thanh toán: L/C,T/T,Paypal
Lưu huỳnh Hexafluoride CAS: 2551-62-4 SF6 99,999% 5N Khí đặc biệt điện tử có độ tinh khiết cao
Sử dụng sản phẩm
Hexafluoride lưu huỳnh là một loại khí trơ không màu, không mùi, không độc hại, không có khớp với trọng lượng phân tử là 146,07, điểm nóng chảy -51 ° C và điểm sôi là -64 ° C. Cấu trúc phân tử của lưu huỳnh hexafluoride được sắp xếp theo bát diện, khoảng cách liên kết là nhỏ và năng lượng liên kết cao, do đó độ ổn định của nó cao. Hexafluoride lưu huỳnh cao cấp điện tử là một etchant lý tưởng. Hexafluoride lưu huỳnh có thể được sử dụng để khắc bề mặt của silicon và loại bỏ màng hữu cơ hoặc vô cơ trên vật liệu bán dẫn, và có thể được sử dụng trong sản xuất sợi quang.
Đặc điểm kỹ thuật chất lượng
|
Items |
Units |
Index |
|
（SF6）Sulfur hexafluoride |
Vol./% |
≥99.999% |
|
Oxygen+Argon（O2+Ar）≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
|
Nitrogen（N2）≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
|
Carbon tetrafluoride（CF4）≤ |
Vol.ppm |
≤1 |
|
Carbon monoxide（CO）≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
|
Carbon dioxide（CO2）≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
|
Methane（CH4）≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
|
Moisture（H2O）≤ |
Vol.ppm |
≤3 |
|
Acidity（以HF计）≤ |
μg |
≤0.1 |
|
Hydrolytic fluoride（以HF计）≤ |
μg |
≤0.8 |
|
Total impurity content≤ |
μg |
≤10 |
|
Particle |
μg |
Supply and demand agreement |
Ứng dụng
Hexafluoride lưu huỳnh nguyên chất cao điện tử là một tác nhân khắc điện tử lý tưởng, được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực công nghệ vi điện tử, nó được sử dụng làm chất khắc và chất tẩy rửa plasma trong sản xuất các mạch tích hợp lớn như chip máy tính và LCD. Lưu huỳnh hexafluoride được sử dụng làm nguồn flo để sản xuất thủy tinh pha tạp flo trong quá trình chuẩn bị sợi quang. Ngoài ra, hexafluoride lưu huỳnh cũng có thể được sử dụng làm khí cách điện, chất theo dõi và chất làm lạnh.
Bao bì lưu trữ
Hexafluoride lưu huỳnh được lưu trữ trong các xi lanh liền mạch tiêu chuẩn, thường thể tích hình trụ là 40L, loại hình trụ là CGA590 QF-2 và áp suất xi lanh là 8.0MPa và 12,5MPa. Thông số kỹ thuật bao bì cụ thể có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của người dùng. Lưu huỳnh hexafluoride được lưu trữ trong một kho dự trữ râm mát và thông gió ra khỏi nguồn lửa và nguồn nhiệt, nhiệt độ của kho không vượt quá 30. Nó nên được lưu trữ riêng biệt với tác nhân dễ cháy (dễ cháy) và oxy hóa. Khu vực lưu trữ phải được trang bị thiết bị khẩn cấp cho trường hợp khẩn cấp.
Danh mục sản phẩm : Vật liệu hóa học điện tử bán dẫn > Khí đặc biệt điện tử có khả năng tinh khiết cao có chứa fluorine
Mobile Site
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.