Boron11 Trichloride bán dẫn chất bán dẫn dopant khô khắc khô
Giơi thiệu sản phẩm
Ở nhiệt độ và áp suất bình thường, boron trichloride (BCl 3 ) là khí khói không màu, dễ cháy, cay nồng, mùi có tính axit. Boron trichloride phân hủy thành axit clohydric và axit boric và giải phóng rất nhiều nhiệt gặp với nước, nó tạo ra khói trong không khí ướt vì thủy phân và BCL 3 phân hủy thành axit clohydric và axit boric trong rượu. Boron trichloride có khả năng phản ứng mạnh mẽ và có thể tạo thành một loạt các hợp chất phối hợp. Boron trichloride có thể phản ứng với thủy tinh và gốm khi được làm nóng, và nó cũng phản ứng với nhiều hợp chất hữu cơ để tạo thành một loạt các hợp chất organoboron. Độ tinh khiết cao Boron11 trichloride chủ yếu được sử dụng để pha tạp khuếch tán trong quá trình sản xuất các thiết bị bán dẫn (silicon). Các tạp chất boron được tạo ra thông qua sự phân hủy BCL 3 và khuếch tán về phía silicon để tạo thành chất bán dẫn loại P ở nhiệt độ cao. Bcl 3 cũng có thể được sử dụng để khắc khô Al, Mosi 2 , TASI 2 , TISI 2 , WSI và các vật liệu khác.
Đặc điểm kỹ thuật chất lượng
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Ứng dụng
Boron trichloride có thể được sử dụng để sản xuất boron tinh khiết cao, chất xúc tác để tổng hợp hữu cơ, chất thông lượng để phân hủy silicat, và nó cũng được sử dụng làm chất phụ gia của chất khử oxy, nitrides và cacbua trong quá trình lọc hợp kim. Boron11 trichloride tinh khiết cao chủ yếu được sử dụng trong doping khuếch tán, cấy ion, khắc khô và các quá trình khác trong các thiết bị bán dẫn và sản xuất mạch tích hợp.
Bao bì và lưu trữ
Boron11 trichloride được lấp đầy trong xi lanh. Xi lanh chứa đầy boron11 trichloride phù hợp với các quy định liên quan của GB14193. Các thông số kỹ thuật bao gồm bao gồm 10L và 47L. Sản phẩm được lưu trữ trong một kho dự trữ râm mát, khô và thông gió dưới 60 . Nó bị cấm phơi nắng và tránh xa các nguồn nhiệt. Gói phải được niêm phong và nó phải được lưu trữ riêng với kiềm và các bài viết nguy hiểm khác.
Contact Now
